國內(nèi)壓力傳感器市場形勢
我國壓力傳感器市場主要是工業(yè)自動化控制領域，和汽車領域。在工控領域里目前我國絕大部份采用擴散硅壓力傳感器、應變片式壓力傳感器和濺射薄膜壓力傳感器，而國內(nèi)廠家生產(chǎn)面廣量大的就是擴散硅壓力傳感器。在國內(nèi)，西安市是我國笫二個五年計劃里重點發(fā)展壓力系列傳感器的重要城市，陜西寶雞市在省會城市西安的帶動下，由原秦嶺晶體管廠進行技術改造，和美國霍尼偉爾公司合作成立麥克傳感器公司，為我國擴散硅壓力傳感器生產(chǎn)開創(chuàng)了先河。但MEMS技術和前道硅片制造技術仍控制在外國廠家手里。 進入九十年代,國際上MEMS技術有了長足的發(fā)展，硅片定向微機電加工精度和成品率不斷提高，加上離子注入技術的發(fā)展使擴散硅壓力傳感器從技術上有了可靠保證，成本也有所下降。在許多應用領域里，擴散硅壓力傳感器還必須與充油蕊體配套,這又使它的售價大幅度上升。這些原因無疑在一定程度上促進了國內(nèi)壓力傳感器市場的興盛。
在國外，壓阻式陶瓷壓力傳感器以其高可靠性，抗腐蝕、優(yōu)良的線性精度和低成本開始逐漸替代擴散硅壓力傳感器，這也將是必然的發(fā)展趨勢。國家科技部馬頌德副部長在2005年底視察無錫時，對此作了充分肯定。
瑞士Metallux公司,此外德國WIKA公司和韓國Greensensor公司也生產(chǎn)陶瓷壓力傳感器,他們都看好中國市場。在具體的傳感器設計理念雙方的立場有不同的地方，這是正常現(xiàn)象，因為理論始終有待于實踐提升。
