半導體特氣檢測儀XD-303
半導體特氣檢測儀XD-303
特點：
采用定電位電解式傳感器，對被測氣體具有選擇性。
高檢測靈敏度。
能檢測很多種類的半導體特氣。
液晶數字顯示。 |
| 型 號 |
XD-303AH |
XD-303PH |
XD-303BH |
XD-303 |
| 檢測對象氣體 |
砷烷 (ASH3) |
磷烷 (PH3) |
乙硼烷 (B2H6) |
其它 |
| 檢 測 范 圍 |
1ppm 0～0.2ppm |
0～1ppm 0～0.3ppm |
0～1ppm |
因規(guī)格而異 |
| * 小 刻 度 |
0.1ppm 0.01ppm |
0.1ppm 0.01ppm |
0.1ppm |
|
| 采 樣 方 式 |
自動吸引式 |
| 應 答 速 度 |
60%應答40秒 |
|
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